Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение

Введение
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.